多功能等離子體鍍膜機（PVD爐）

1、電子束發生器功率的提高，幾乎可以蒸發所有物質，(如金屬鎢、鉑等)，即使飽和蒸氣壓較低的元素(如Mo、Nb等)也能利用該工藝蒸發;

2、電子束功率易于調節，束斑尺寸和位置易于控制，有利于精確控制涂層厚度;

3、坩堝采用水冷，避免了高溫下蒸鍍材料與坩堝發生化學反應，還可避免坩堝排氣污染膜層;

4、采用電子束加熱基板，可使基板溫度穩定，易于控制，使沉積層不受加熱源的污染;

5、與其他蒸鍍方法比，蒸發速率和沉積速率高(分別可達10kg/h~15kg/h和100μm/min~150μm/min)，工藝重復性好;特別是大功率電子槍的出現，使制備大尺寸的板材以及多層材料成為現實;

6、沉積過程中蒸發出的原子團能量較低，減弱層界面擴散、混合作用，有利于獲得具有清晰、明銳界面的多層材料;

7、選擇適當的工藝參數，可得到與被蒸鍍材料的成分相同、元素含量基本一致的涂層;

8、基體與涂層之間有較高的結合力;

9、涂層的沉積是在真空狀態下進行的，有利于防止基體與涂層材料的污染和氧化，因此可以獲得質量較高的涂層;

10、得到的涂層的應變容限高，使涂層的抗熱沖擊性能明顯提高。

等離子噴涂熱障涂層的疲勞壽命一般僅為EB-PVD涂層的30%~40%。

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